二、技术规格及参数

        测试量程：

VMC3020D:300*200*200mm  重量：250kg

          VMC4030D:400*300*200mm  重量：350kg

VMC5040D:500*400*200mm  重量：500kg

玻璃台承重：15kg

X/Y轴精度（um）：≤3+L/200（L为被测长度单位mm）

Z轴精度（um）：≤3+L/100（L为被测长度单位mm）

物镜焦距：82mm

最小显示值：0.1um

物镜倍率：0.7-4.5X

显示器综合放大倍率（23寸）：约37-237X（可加配2X物镜，或0.5X目镜）

控制系统：CNC闭环控制系统

光源系统：表面光源与透射光源均用LED，亮度可调

操作系统：WIN7/WIN10

主机材质：采用00级天然大理石（一体机）

电脑：专用电脑

软件：INSPEC 2D

光栅尺：金属光栅尺1.0um

导轨：高精度交叉导轨

丝杆：国产高精度丝杆（台湾）

电机：国产伺服电机

CCD相机：80W像素模拟相机

表面光：八区程控

激光笔：点红光（测量时找样品位置用）

选配件：Z轴探针、Z轴激光、自动变倍镜头、地图导航、同轴光。